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半導體封裝前等離子預清洗
2021-07-16754

目前組裝技術(shù)的趨勢主要是SIP、BGA、CSP封裝使半導體器件向模塊化、高集成化和小型化方向發(fā)展。在這樣的封裝與組裝工藝中,最大的問(wèn)題是粘結填料處的有機物污染和電加熱中形成的氧化膜等。由于在粘結表面有污染物存在,導致這些元件的粘接強度降低和封裝后樹(shù)脂的灌封強度降低,直接影響到這些元件的組裝水平與繼續發(fā)展。為提高與改善這些元件的組裝能力,大家都在想盡一切辦法進(jìn)行處理。提高實(shí)踐證明,在封裝工藝中適當地引入等離子清洗技術(shù)進(jìn)行表面處理,可以大大改善封裝可靠性和提高成品率。

  在玻璃基板(LCD)上安裝裸芯片IC的COG工藝過(guò)程中,當芯片粘接后進(jìn)行高溫硬化時(shí),在粘結填料表面有基體鍍層成分析出的情況。還時(shí)有Ag漿料等連接劑溢出成分污染粘結填料。如果能在熱壓綁定工藝前用等離子清洗去除這些污染物,則熱壓綁定的質(zhì)量能夠大幅提升。進(jìn)一步說(shuō),由于基板與裸芯片IC表面的潤濕性都提高了,則LCD—COG模塊的粘結密接性也能提高,同時(shí)也能夠減少線(xiàn)條腐蝕的問(wèn)題。

 

 

等離子清洗在COG-LCD組裝技術(shù)中的應用

     LCD的COG組裝過(guò)程,是將裸片IC貼裝到ITO玻璃上,利用金球的壓縮與變形來(lái)使ITO玻璃上的引腳與IC上的引腳導通。由于精細線(xiàn)路技術(shù)的不斷發(fā)展,目前已經(jīng)發(fā)展到生產(chǎn)Pitch為20μm、線(xiàn)條為10μm的產(chǎn)品。這些精細線(xiàn)路電子產(chǎn)品的生產(chǎn)與組裝,對ITO玻璃的表面清潔度要求非常高,要求產(chǎn)品的可焊接性能好、焊接牢固、不能有任何有機與無(wú)機的物質(zhì)殘留在ITO玻璃上來(lái)阻止ITO電極端子與IC BUMP的導通性,因此,對ITO玻璃的清潔顯得非常重要。在目前的ITO玻璃清潔工藝中,大家都在嘗試利用各種清洗劑(酒精清洗、棉簽+檸檬水清洗、超聲波清洗)進(jìn)行清洗,但由于清洗劑的引入,會(huì )導致由于清洗劑的引入而帶來(lái)其他的相關(guān)問(wèn)題,因此,探索新的清洗方法成為各廠(chǎng)家的努力方向。通過(guò)逐步的試驗,利用等離子清洗的原理來(lái)對ITO玻璃進(jìn)行表面清潔,是比較有效的清潔方法。
     在對液晶玻璃進(jìn)行的等離子清洗中,使用的活化氣體是氧的等離子體,它能除去油性污垢和有機污染物粒子,因為氧等離子體可將有機物氧化并形成氣體排出。它的唯一問(wèn)題是需要在去除粒子后加入一個(gè)除靜電裝置,其清洗工藝如下:

吹氣--氧等離子體--除靜電   
通過(guò)干式洗凈工藝后的LCD及其電極端子ITO,潔凈度、粘結性得到大大改善。

清洗過(guò)程如下:

清洗前   等離子照射   清洗后

下面是經(jīng)過(guò)等離子清洗前后的效果差別
1.使用設備: 等離子大氣壓等離子清洗機;氣體:無(wú)油干燥空氣
2.將20pcs IC Bump向上放置(粘在黃膠紙上),進(jìn)行Plasma清洗,然后再將IC正常熱壓到LCD上,進(jìn)行測試,觀(guān)察產(chǎn)品顯示狀況。
3.將23pcs顯示白條,并且未封硅膠的產(chǎn)品,進(jìn)行Plasma清洗,然后再測試,觀(guān)察白條顯示狀況。
4.取2pcs顯示OK的產(chǎn)品,在同一位置裸露的ITO上沾上汗漬(不戴手套,直接戴手指套,約15分鐘后手指套內的汗漬),將其中1pcs進(jìn)行Plasma清洗,然后產(chǎn)品一起通電,觀(guān)察腐蝕狀況(車(chē)間溫度管控范圍:22℃+/-6℃,濕度控制范圍55%+/-15%)。
產(chǎn)品A經(jīng)過(guò)等離子清洗;產(chǎn)品B不進(jìn)行等離子清洗。通過(guò)連續的通電實(shí)驗(200小時(shí))后,情況如下:產(chǎn)品A在通電71.5H時(shí)出現第一條缺線(xiàn),通電77H時(shí)出現第二條缺線(xiàn); 而產(chǎn)品B在通電4.5H時(shí),顯示缺四條線(xiàn)。

從上面的實(shí)驗數據可以看出:
1、等離子清洗時(shí)產(chǎn)生的靜電不會(huì )對產(chǎn)品造成不良;
2、等離子可清洗ITO表面的微量導電臟污,可以改善由于漏電導致的白條現象;
3、等離子清洗可以降低被污染產(chǎn)品的腐蝕速度和腐蝕程度。

 從上面的原理分析及實(shí)驗數據可以得出: 等離子清洗可用于LCD玻璃及LCD—COG半成品玻璃組裝過(guò)程的清洗,來(lái)改善產(chǎn)品的質(zhì)量及其穩定性。


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